美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求
欧美ASTM D5127電子及半导体行业工业制造用超纯水水体规范要求
项目 💟 |
TypeE-1 |
TypeE-1.1 |
TypeE-1.2 |
TyPeE-2 |
TyPeE-3 |
TyPeE-4 |
线宽(μm) |
1.0-0.5 |
0.5-0.25 |
0.25-0.18 |
5-1 |
>5 |
- |
电阻率ಌ |
18.2 |
18.2 |
18.2 |
17.5 |
12 |
0.5 |
供热系统(EU/ml) |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
0.25 |
- |
- |
TOC(μg/L) |
5 |
2 |
1 |
50 |
300 |
1000 |
融解氧DO(μg/L) |
1 |
1 |
1 |
- |
- |
- |
减压蒸馏沉渣(μg/L) |
1 |
0.5 |
0.1 |
- |
- |
- |
颗粒(μm)(SEM检则) |
|
|
|
|
𒁃 |
𒆙 |
0.1—0.2 |
1000 |
1000 |
200 |
|
꧙ |
♐ |
0.2—0.5 |
500 |
500 |
l00 |
3000 |
🐻 |
👍 |
0.5—1.0 |
50 |
50 |
1 |
|
10000 |
𒊎 |
🐎10 |
- |
- |
- |
|
𝓰 |
100000 |
颗粒(μm)(线上的检测) |
💛 |
▨ |
🔯 |
|
🔜 |
♌ |
0.05—0.1 |
500 |
500 |
100 |
|
📖 |
🎀 |
0.1—0.2 |
300 |
300 |
50 |
|
𒅌 |
♓ |
0.2—0.3 |
🐠 50 |
50 |
20 |
|
🍰 |
ꦬ |
0.3—0.5 |
ౠ 20 |
20 |
10 |
|
⛦ |
🐻 |
>0.5 |
💟 4 |
📖 4 |
♍ 1 |
|
💦 |
♛ |
大肠杆菌𒉰 |
🦩 |
🐲 |
💜 |
|
🌞 |
💟 |
100ml Sample |
൩ 1 |
♑ 1 |
🎃 1 |
|
ไ |
🦩 |
ꦬ 1L Sample |
ಞ 1 |
𝔍 1 |
0.1 |
10 |
10000 |
100000 |
硅(μ⛎m) |
🧸 |
𒐪 |
♛ |
|
🌸 |
🅷 |
总硅🎐 |
🅘 3 |
0.5 |
0.5 |
10 |
50 |
1000 |
可溶性高,溶于水的硅 |
𒊎 1 |
0.1 |
0.05 |
|
🃏 |
♉ |
阴阳离子(μg/L) |
𝄹 |
﷽ |
🍨 |
|
ꦏ |
|
𒀰 NH4 |
0.1 |
0.1 |
0.05 |
- |
- |
|
🅰 Br |
꧂0.1 |
0.05 |
0.02 |
- |
🐬- |
|
Cl💃 |
💞0.l |
0.05 |
0.02 |
1 |
10 |
1000 |
♕ F |
0.1 |
0.05 |
0.03 |
- |
- |
- |
𓆉 N03 |
🍷0.1 |
0.05 |
0.02 |
1 |
🍨5 |
500 |
🍃 N02 |
▨0.l |
0.05 |
0.02 |
- |
- |
- |
ꦐ P04 |
0.1 |
0.05 |
0.02 |
1 |
💃5 |
500 |
𝔉 S04 |
0.1 |
0.⛎05 |
0.02 |
1 |
🌌5 |
500 |
🌺 Al |
0.05 |
0.02 |
0.005 |
- |
- |
- |
ﷺ Ba |
0.05 |
0.02 |
0.001 |
- |
- |
- |
ღ B |
0.05 |
0.02 |
0.005 |
- |
- |
- |
🦋 Ca |
0.05 |
0.02 |
0.002 |
- |
- |
- |
💜 Cr |
0.05 |
0.02 |
0.002 |
- |
- |
- |
ꦚ Cu |
0.05 |
0.02 |
0.002 |
1 |
🎀2 |
500 |
♌ Fe |
0.05 |
0.02 |
0.002 |
- |
- |
- |
⛦ Pb |
0.05 |
0.02 |
0.005 |
- |
- |
- |
🧸 Li |
0.05 |
0.02 |
0.003 |
- |
- |
- |
𓆏 Mg |
0.05 |
0.02 |
0.002 |
- |
- |
- |
🌳 Mn |
0.05 |
0.02 |
0.002 |
- |
- |
- |
🍸 K |
0.05 |
0.02 |
0.002 |
1 |
🍨2 |
500 |
🤡 K |
0.05 |
0.02 |
0.005 |
2 |
🧸5 |
500 |
ꦉ Na |
0.05 |
0.02 |
0.005 |
1 |
🌸5 |
1000 |
♛ Sr |
0.05 |
0.02 |
0.00l |
- |
- |
🎃 - |
🐲 zi |
0.05 |
0.02 |
0.002 |
1 |
✨5 |
500 |
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